中微公司获得发明专利授权：“限制环以及等离子体处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“限制环以及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202111181000.2，授权日为2025年9月9日。

专利摘要：本发明提供一种限制环，用于等离子体处理装置，所述等离子体处理装置包括基座，所述限制环围绕所述基座设置于所述等离子体处理装置的等离子体反应区域和排气区域之间，所述限制环包括同心设置的多个环板，多个所述环板沿所述基座的径向排列，相邻两个环板之间的缝隙形成气体通道；至少两个环板具有磁性，相邻两个具有磁性的环板之间形成磁场，所述磁场限制从所述等离子体反应区域排出的带电粒子由所述气体通道流入所述排气区域。相应的，还提供一种包含上述限制环的等离子体处理装置。本发明既能够提升抽气效率，又能保证足够的电子、离子碰壁率，降低等离子体泄露的风险。

今年以来中微公司新获得专利授权118个，较去年同期增加了28.26%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1539条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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