拓荆科技获得发明专利授权：“晶圆自动承载系统及采用该系统传送晶圆的方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆自动承载系统及采用该系统传送晶圆的方法”，专利申请号为CN202010593931.2，授权日为2025年9月19日。

专利摘要：一种晶圆自动承载系统及采用该系统传送晶圆的方法，该系统包括：真空腔室，其中具有多个晶圆承载工位；多个第一桨和第二桨，其均位于真空腔室内且能够分别同步旋转，且每一第二桨与相应第一桨构成一对桨，以共同承载一晶圆；双套磁流体，其与真空腔室密封连接，且连接至多个第一桨和多个第二桨，以驱动其中的一者或两者旋转；第一驱动机构，其连接于双套磁流体，以通过双套磁流体驱动多个第一桨和多个第二桨同步同向旋转；及第二驱动机构，其也连接于双套磁流体，以通过双套磁流体实现多个第一桨和多个第二桨之间的相对旋转。该系统能减少晶元在传送过程中的运动步骤，因而提高晶圆的传送精度和稳定性，减小其位置误差。

今年以来拓荆科技新获得专利授权46个，较去年同期增加了84%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.01亿元，同比减4.33%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目98次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息713条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可32个。

数据来源：天眼查APP

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