拓荆科技获得实用新型专利授权：“气体输送装置和半导体器件的工艺设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“气体输送装置和半导体器件的工艺设备”，专利申请号为CN202422460231.2，授权日为2025年9月19日。

专利摘要：本实用新型公开了一种气体输送装置和半导体器件的工艺设备。该装置包括：第一组气路，进气端连接载气源和TEOS源，传输包括载气和TEOS的第一组气体；第二组气路，进气端连接补充气体源，传输包括补充气体的第二组气体；第三组气路，进气端连接臭氧源，传输包括臭氧的第三组气体；以及若干混气部，其进气端分别连接第一组气路、第二组气路，以及第三组气路的出气端，以获取等比例的第一组气体、第二组气体和第三组气体并混合，将混合气体从各混气部的出气端平均分配到反应腔内对应的各处理站进行沉积工艺。本实用新型能够提升多组工艺气体分配的均匀性，从而降低各处理站的膜厚差异，同时还能提升TEOS的冷凝温度，改善薄膜颗粒污染。

今年以来拓荆科技新获得专利授权46个，较去年同期增加了84%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.01亿元，同比减4.33%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目98次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息713条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可32个。

数据来源：天眼查APP

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