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拓荆科技获得发明专利授权:“一种半导体器件的加工装置及加工方法”

来源:证券之星企业动态 2025-09-20 03:33:45
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拓荆科技(688072)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体器件的加工装置及加工方法”,专利申请号为CN202211600367.8,授权日为2025年9月19日。

专利摘要:本发明提供了一种半导体器件的加工装置及方法。该半导体器件的加工装置包括晶圆托盘、顶针、顶针托板、阴影环及边缘环,其中,晶圆托盘的承载面上设有顶针过孔,顶针位于晶圆托盘的下方,其上端经由顶针过孔向晶圆托盘的上方延伸,顶针托板位于晶圆托盘下方,用于支撑顶针的下端,以控制顶针在顶针过孔中上下位移,阴影环位于晶圆托盘的上方,边缘环位于晶圆托盘及阴影环之间,顶针托板的边缘位置设有多个撑杆过孔,阴影环连接多根支撑杆的上端,支撑杆的下端设有限位结构和第一重锤,其中,支撑杆的下端穿过撑杆过孔,限位结构位于撑杆过孔的上方,第一重锤位于撑杆过孔的下方,顶针托板支撑限位结构,以控制支撑杆在撑杆过孔中上下位移。

今年以来拓荆科技新获得专利授权46个,较去年同期增加了84%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了3.01亿元,同比减4.33%。

通过天眼查大数据分析,拓荆科技股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目98次;财产线索方面有商标信息110条,专利信息713条,著作权信息32条;此外企业还拥有行政许可32个。

数据来源:天眼查APP

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