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天准科技获得发明专利授权:“一种曝光标定板和曝光机”

来源:证券之星企业动态 2025-09-20 03:33:16
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示天准科技(688003)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种曝光标定板和曝光机”,专利申请号为CN202410359594.9,授权日为2025年9月19日。

专利摘要:本发明提供了一种曝光标定板和曝光机,属于标定领域,一种曝光标定板,包括左侧的标定mark部和右侧的透明曝光mark部,标定mark部包括第一空白缓冲区、标定组合mark区和第二空白缓冲区,透明曝光mark部包括板边区、曝光mark预留区和第三空白缓冲区;在标定组合mark区加工第一组合图形作为标定组合mark,在曝光mark预留区设有第二组合图形作为曝光mark,第二组合图形与第一组合图形不同。本申请的标定板设置标定mark部和透明曝光mark部,替代了传统的BLED打点对准,提高了标定精度,尤其适应于内层的精确对准,便于在PCB、晶圆等需要对准(如overlay)的半导体检测或加工领域推广应用。

今年以来天准科技新获得专利授权20个,较去年同期减少了28.57%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.11亿元,同比减5.93%。

通过天眼查大数据分析,苏州天准科技股份有限公司共对外投资了15家企业,参与招投标项目67次;财产线索方面有商标信息95条,专利信息811条,著作权信息48条;此外企业还拥有行政许可28个。

数据来源:天眼查APP

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