华海清科获得实用新型专利授权：“抛光机构和抛光模组”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“抛光机构和抛光模组”，专利申请号为CN202422645768.6，授权日为2025年9月16日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种抛光机构和抛光模组。抛光机构包括支撑体，开设有至少两个沿周向均匀分布的长条形通孔，各长条形通孔的轴线均通过支撑体的中心；至少两个抛光头，一一对应且可移动地设置于各长条形通孔；第一驱动机构，装设于支撑体且与各抛光头电连接，用于驱动各抛光头旋转并同时沿着长条形通孔往复移动。本申请中各抛光头沿着长条形通孔进行往复移动，使得抛光头在抛光操作过程中可沿着抛光垫的径向，即沿着用于容纳抛光液的环形沟槽的径向进行往复移动，使得每个抛光头都能够与抛光液充分接触，从而实现更加高效的抛光效果，特别是对于第三代半导体材料制成的晶圆而言，这种抛光方式显著提升了抛光效率。

今年以来华海清科新获得专利授权66个，较去年同期增加了153.85%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目231次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息716条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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