中微公司获得发明专利授权：“一种射频发生器、半导体处理设备及使用方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种射频发生器、半导体处理设备及使用方法”，专利申请号为CN202411969617.4，授权日为2025年9月12日。

专利摘要：本发明公开一种射频发生器、半导体处理设备及使用方法，所述射频发生器，包括：电容器；高压电源，其正极与电容器的第一极板连接，其负极与电容器的第二极板连接，其用于对电容器充电；电容器充电完成后输出直流电压信号，直流电压信号的电压值大于1KV；第一开关，其正极与负载连接，其负极与第二极板连接；第一开关以预设频率进行断开和闭合，以将直流电压信号变换为第一高频高压脉冲信号并施加至负载；且预设频率不小于400KHZ，第一开关的额定电压大于1KV；第一二极管，其正极与第一开关和负载的连接线连接，其负极连接第一电位接点；第一二极管用于在第一开关断开时释放连接线上产生的第一反向电压。

今年以来中微公司新获得专利授权117个，较去年同期增加了27.17%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1539条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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