中科飞测获得发明专利授权：“承载装置、半导体处理设备、及固定工件的方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“承载装置、半导体处理设备、及固定工件的方法”，专利申请号为CN202011312601.8，授权日为2025年9月12日。

专利摘要：本申请提供一种承载装置、半导体处理设备、及利用承载装置固定工件的方法。承载装置包括承载件、压紧组件、及驱动件。承载件包括承载面及设置在承载件的气路，承载面包括第一区域及环绕第一区域的第二区域，气路用于抽气以将工件吸附在第一区域。压紧组件用于将工件压紧在第二区域。驱动件与压紧组件连接，并用于驱动压紧组件相对承载件移动以选择性地压紧或释放工件。本申请的承载装置、半导体处理设备、及利用承载装置固定工件的方法中，承载件能够承载并吸附工件，使工件不发生偏移。压紧组件能够将工件压紧在第二区域，以使工件与承载面接触的表面更加平整，使工件能够顺利吸附在承载件上。

今年以来中科飞测新获得专利授权57个，较去年同期减少了45.19%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增37.79%。

通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目265次；财产线索方面有商标信息332条，专利信息1015条，著作权信息36条；此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源：天眼查APP

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