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欧莱新材获得发明专利授权:“一种直流磁控溅射高迁移率透明导电氧化物薄膜的制备方法”

来源:证券之星企业动态 2025-09-10 02:55:30
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示欧莱新材(688530)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种直流磁控溅射高迁移率透明导电氧化物薄膜的制备方法”,专利申请号为CN202411622639.3,授权日为2025年9月9日。

专利摘要:本发明公开了一种直流磁控溅射高迁移率透明导电氧化物薄膜的制备方法,本发明在制备靶材步骤中采用球体形状、棱锥体形状和足球状的氧化铟粉制备靶材,且棱锥体形状和足球形状的氧化铟粉的质量占比在20%以上,足球形状的粉体与其它粉体之间接触为面与面接触,球体形状与其它粉体之间的接触为点接触,足球形状的氧化铟粉有利于在保证粉体流动性的同时提高靶材的电子迁移率以及靶材的密度。通过直流磁控溅射镀膜机溅射镀膜得到氧化物薄膜,将得到的氧化物薄膜置于大气环境中并在不同温度下退火30±5min,得到高迁移率透明导电氧化物薄膜,提高ITO薄膜的电导率以及透过率,满足透明导电氧化物薄膜对于高迁移率的超高要求。

今年以来欧莱新材新获得专利授权4个,较去年同期增加了300%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1094.13万元,同比减1.22%。

通过天眼查大数据分析,广东欧莱高新材料股份有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目13次;财产线索方面有商标信息51条,专利信息80条;此外企业还拥有行政许可62个。

数据来源:天眼查APP

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