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汇成真空获得发明专利授权:“一种磁过滤弧镀膜装置”

来源:证券之星企业动态 2025-09-09 03:07:16
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示汇成真空(301392)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种磁过滤弧镀膜装置”,专利申请号为CN202010983047.X,授权日为2025年9月9日。

专利摘要:本发明公开了一种磁过滤弧镀膜装置,包括:阴极电弧源,它含电弧靶座、靶块、永磁体和永磁体调节机构,靶块安装在靶座前端面上,靠近靶块的靶座后端面中央安放柱状永磁体,永磁体后面连接永磁体调节机构;真空镀膜室,其室内为真空设置;磁过滤弯管,其一端为与所述阴极电弧源的前端连接的入口端,另一端为与真空镀膜室的内腔连通的出口端;还包括:第一励磁线圈,安装在靶块周边,并位于阴极电弧源的外侧;第一励磁线圈用于与所述永磁体相配合对磁场进行改变;多个线圈模组,其分别设置在所述磁过滤弯管的入口端、拐弯处以及出口端。本发明能够减少阴极电弧靶等离子体中的大颗粒产生,层膜的沉积速率高、均匀性好,质量好。

今年以来汇成真空新获得专利授权41个。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1582.85万元,同比减19.16%。

通过天眼查大数据分析,广东汇成真空科技股份有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目106次;财产线索方面有商标信息6条,专利信息188条,著作权信息7条;此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源:天眼查APP

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