中微公司获得发明专利授权：“多区加热装置、下电极组件、等离子处理装置及调温方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“多区加热装置、下电极组件、等离子处理装置及调温方法”，专利申请号为CN202011253024.X，授权日为2025年9月9日。

专利摘要：一种多区加热装置、下电极组件、等离子处理装置及调温方法，其中，所述多区加热装置包括：多个加热片；多个开关，每个开关连接一加热片并形成一加热单元；多个所述加热单元的两端分别连接一接地总线和一供电总线；多个控制信号线，每个控制信号线与一开关相连，用于输送所述开关工作占空比的控制信号，所述开关分别根据所述控制信号独立控制与之连接的所述加热片的工作时间。所述多区加热装置能够集成到等离子处理装置中的静电夹盘与基座之间，且能够减少外接导电线以减少滤波器的需求。

今年以来中微公司新获得专利授权116个，较去年同期增加了27.47%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1533条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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