中微公司获得发明专利授权：“一种接地环及其调节方法及等离子体处理装置”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种接地环及其调节方法及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202011547788.X，授权日为2025年9月9日。

专利摘要：本发明提供了一种接地环及其调节方法及等离子体处理装置，在接地环上设置连接体，通过调节连接体个数和/或更换不同宽度的连接体和/或调节所述连接体的可分离连接的端部与环体之间的间隙宽度，改善了射频分布，有效的保证了刻蚀速率的均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权116个，较去年同期增加了27.47%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1533条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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