中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理装置及其调节方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理装置及其调节方法”，专利申请号为CN202110750316.2，授权日为2025年9月9日。

专利摘要：本发明公开了一种等离子体处理装置，包含：真空反应腔，所述真空反应腔内具有下电极组件；射频电源，用于向下电极组件提供射频功率；射频传输体，所述射频电源通过所述射频传输体向下电极组件提供射频功率；电接地的屏蔽套筒，其环绕设置于所述射频传输体的外周，所述射频传输体和所述屏蔽套筒之间包含至少两个介质层，各个介质层之间可相对发生位移，所述位移用于改变各介质层之间的正对面积。其优点是：该装置通过改变各介质层之间的正对面积，进而调整该处的等效电容，实现对于倍频高次谐波阻抗的调节，以影响真空反应腔内等离子体的空间分布，更精准地控制刻蚀速率分布。

今年以来中微公司新获得专利授权116个，较去年同期增加了27.47%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1533条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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