芯碁微装获得发明专利授权：“直写光刻设备及其的分区曝光方法及装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“直写光刻设备及其的分区曝光方法及装置”，专利申请号为CN202210242537.3，授权日为2025年9月9日。

专利摘要：本发明提出一种直写光刻设备及其的分区曝光方法及装置，方法包括：确定PCB板上每个原始分区对应的对位靶点的坐标；根据对位靶点的坐标确定与对位靶点对应的邻域对位点的坐标；根据对位靶点的坐标及邻域对位点的坐标重新确定PCB板的分区及与分区对应的变换模式；根据分区及变换模式确定所述分区的映射矩阵；根据映射矩阵确定目标曝光坐标，并根据目标曝光坐标对PCB板进行曝光。本发明通过采用相同的变换模式对PCB板的分区进行变换，并根据分区及变换模式确定分区的映射矩阵，根据映射矩阵确定目标曝光坐标，实现对PCB板的曝光，从而，避免在每个分区采用各自变换参数进行变换，导致分区之间出现错位及白边问题，提高了产品质量。

今年以来芯碁微装新获得专利授权27个，较去年同期增加了8%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6095.32万元，同比增24.56%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目146次；财产线索方面有商标信息33条，专利信息372条，著作权信息53条；此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源：天眼查APP

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