至纯科技获得实用新型专利授权：“一种晶圆盒的定位锁止机构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆盒的定位锁止机构”，专利申请号为CN202420651668.1，授权日为2025年9月9日。

专利摘要：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体涉及一种晶圆盒定位锁止机构，包括：底板，底板上分布有多个定位销，定位销与外部的晶圆盒的底部的卡槽相互匹配；多底板的下方设置有锁定机构，定位机构包括一个锁定卡扣，锁定卡扣与晶圆盒的底部的锁定口相互匹配；锁定卡扣自底板下方穿过让位孔以接触锁定口，并锁定晶圆盒。有益效果在于：当晶圆盒被外部的机械臂、工装等放置到底板上时，可通过插入定位销来实现自动对位调整过程，并通过底部的锁定卡扣来实现对晶圆盒的锁定，随后可取放晶圆。上述过程不需要引入机械臂进行调节控制，且仅需要在原有的工艺设备上对用于承托晶圆盒的底板进行替换即可使用，降低了使用成本。

今年以来至纯科技新获得专利授权31个，较去年同期增加了63.16%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.18亿元，同比增17.59%。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了46家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息104条，专利信息315条，著作权信息28条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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