中微公司获得实用新型专利授权：“一种磁力组件及磁控溅射设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种磁力组件及磁控溅射设备”，专利申请号为CN202422453102.0，授权日为2025年9月9日。

专利摘要：本实用新型公开了一种磁力组件及磁控溅射设备，所述磁力组件应用于磁控溅射设备中，包括：第一磁场发生器组，位于基板上方。第二磁场发生器组，位于基板下方；第三磁场发生器组，位于基板上方。第一磁场发生器组、第二磁场发生器组和第三磁场发生器组均与基板同轴设置，且均位于基座的径向区域外。第一磁场发生器组和第二磁场发生器组共同作用在基板位置形成均匀且垂直于基板的磁场。第三磁场发生器组用于对整个基板区域的磁场的均匀性和/或强度进行调控。第一磁场发生器组、第二磁场发生器组和/或第三磁场发生器组由多个电磁线圈构成。本实用新型能够调节基板表面上的磁场强度的均匀分布，提高金属沉积的一致性和薄膜的整体性能。

今年以来中微公司新获得专利授权116个，较去年同期增加了27.47%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1533条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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