中微公司获得发明专利授权：“一种化学气相沉积设备及其气体混合装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种化学气相沉积设备及其气体混合装置”，专利申请号为CN202111435929.3，授权日为2025年9月9日。

专利摘要：一种化学气相沉积设备及其气体混合装置，化学气相沉积设备包含反应腔和位于反应腔内部上方的气体喷淋头，位于气体喷淋头上方的气体混合装置包含：具有主气体通道和第二气体通道的主体结构，以及设置在主气体通道内的气流塞。主气体通道的进气端连接至第一反应气体源，出气端朝向气体喷淋头，第二气体通道的进气端连接至第二反应气体源，出气端连接至所述主气体通道。气流塞具有柱状的弹身部，弹身部包括第一端和第二端，第一端朝向主气体通道进气端，第二端朝向主气体通道出气端，第二端包括一呈锥状结构的气体导流部。本发明能够实现较高的气体混合均匀度，从而降低了气体喷淋头的工艺复杂度，进一步降低了设备成本。

今年以来中微公司新获得专利授权116个，较去年同期增加了27.47%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1533条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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