微导纳米获得实用新型专利授权：“一种喷淋组件及半导体镀膜设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种喷淋组件及半导体镀膜设备”，专利申请号为CN202422707232.2，授权日为2025年9月9日。

专利摘要：本申请涉及半导体薄膜气相沉积技术领域，公开一种喷淋组件及半导体镀膜设备，其中，所述喷淋组件包括：喷淋板、喷淋区和RPS导入区，喷淋区设置于所述喷淋板，RPS导入区设置于所述喷淋板并与所述喷淋区相互独立，用于将来自于所述反应腔顶部的清洁气体导入至所述反应腔的其他区域以及所述加热盘。这样，能够提高反应腔的清洗效果和清洗效率，并能够有效提升半导体薄膜制程的稳定性和设备的使用周期。

今年以来微导纳米新获得专利授权54个，较去年同期增加了50%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目47次；财产线索方面有商标信息114条，专利信息537条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可68个。

数据来源：天眼查APP

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