证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆洗边蚀刻方法”，专利申请号为CN202111643643.4，授权日为2025年9月5日。
专利摘要：本发明提供一种晶圆洗边蚀刻方法，包括：步骤S1，获取一晶圆并将晶圆放置于一放置台上；步骤S2，控制放置台进行旋转，并控制多个喷淋管依次喷淋溶液对晶圆的边缘进行复层洗边蚀刻。有益效果是本方法采用多个喷淋管依次喷淋第一溶液、第二溶液和第三溶液对晶圆的边缘进行洗边蚀刻，以完全清除晶圆边缘的表面物质并有效提升清洗蚀刻效果。
今年以来至纯科技新获得专利授权29个，较去年同期增加了52.63%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.18亿元，同比增17.59%。
通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了46家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息104条，专利信息315条，著作权信息28条；此外企业还拥有行政许可43个。
数据来源：天眼查APP
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