微导纳米获得实用新型专利授权：“大产量基片承载装置及基片处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“大产量基片承载装置及基片处理设备”，专利申请号为CN202422025426.4，授权日为2025年9月2日。

专利摘要：本申请涉及一种大产量基片承载装置，包括桨杆、舟托和小舟。舟托支撑于桨杆，小舟支撑于所述舟托，多个所述小舟沿着所述桨杆的长度方向布设于所述舟托内，所述小舟具有至少两排承载组，多个所述承载组沿所述桨杆的宽度方向排布，每个所述承载组包括多个用于放置基片的承载位；所述舟托的底部中心形成有限位槽，多个所述桨杆相互间隔承靠于所述限位槽内。由于沿桨杆的宽度方向上具有至少两排承载组，因此能够有效地利用工艺容器内宽度方向的尺寸，提高空间利用率，增加载片量，从而提高生效效率，实现大产能。此外，桨杆从舟托底部的限位槽处提供支撑，可以避免桨杆分布于舟托两侧时对宽度方向空间的占用。本申请还涉及一种基片处理设备。

今年以来微导纳米新获得专利授权53个，较去年同期增加了47.22%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目47次；财产线索方面有商标信息114条，专利信息535条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可68个。

数据来源：天眼查APP

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