芯源微获得实用新型专利授权：“片盒模块和涂胶显影装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“片盒模块和涂胶显影装置”，专利申请号为CN202422877056.7，授权日为2025年9月2日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体制造中的涂胶显影领域，提供一种片盒模块，应用于涂胶显影装置，包括：第一装载工位，用于装载待处理的晶圆；第二装载工位，用于装载已处理的晶圆；第二装载工位位于所述第一装载工位的一侧；进出站机器人，用于将所述第一装载工位上的晶圆传送至进片总工位，以及将片盒回片支路工位上的晶圆传送至所述第二装载工位；传片机械手，用于将进片总工位上的晶圆传送至片盒进片支路工位；所述片盒回片支路工位位于所述片盒进片支路工位的底侧；所述传片机械手位于所述片盒模块的第一侧或第二侧；所述传片机械手的对侧安置有辅助工艺单元，所述辅助工艺单元用于对晶圆进行辅助处理。该片盒模块用于适应高吞吐量的晶圆生产需求。

今年以来芯源微新获得专利授权32个，较去年同期增加了28%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.32亿元，同比增12.87%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目321次；财产线索方面有商标信息45条，专利信息612条，著作权信息92条；此外企业还拥有行政许可63个。

数据来源：天眼查APP

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