晶盛机电获得发明专利授权：“晶圆抛光研磨自动上下料设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆抛光研磨自动上下料设备”，专利申请号为CN202510790528.1，授权日为2025年8月29日。

专利摘要：本申请公开了一种晶圆抛光研磨自动上下料设备，其配置有抛光研磨机，抛光研磨机包括若干个游星轮，每个游星轮具有多个研磨抛光工位，该设备包括检测下料运动模块，用于检测多个研磨抛光工位的相对位置关系，生成控制信号；上片缓存模块，包括上片定位缓存台和缓存运动装置，上片定位缓存台包括定位工位和调整平台，缓存运动装置能够将上片定位缓存台中的晶圆移送至定位工位，调整平台用于响应控制信号调整定位工位中的晶圆；上下片运动模块，用于将晶圆移至研磨抛光工位。该设备执行研磨抛光工序前，通过校准调整晶圆相对位置，便于一次将多个晶圆移送研磨抛光工位，提升上下片节奏，使设备具有更高的研磨抛光效率。

今年以来晶盛机电新获得专利授权86个，较去年同期减少了10.42%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4.65亿元，同比减23.93%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了34家企业，参与招投标项目197次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1077条，著作权信息139条；此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源：天眼查APP

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