芯联集成获得发明专利授权：“MEMS器件的制备方法及MEMS器件”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS器件的制备方法及MEMS器件”，专利申请号为CN202510735452.2，授权日为2025年8月29日。

专利摘要：本申请涉及一种MEMS器件的制备方法及MEMS器件，包括：衬底，包括彼此相对的第一表面和第二表面；第一振膜，位于第一表面侧，包括第一可动区域和第一固定区域；第一凸起结构，位于第一振膜的远离衬底的一侧且连接第一可动区域上，第一凸起结构的横截面面积沿第一方向减小，横截面为平行于第一表面的平面，第一方向为第二表面至第一表面的方向；第一凸起结构的材料包括SiN，沿第一方向第一凸起结构中的Si含量降低且N含量增加；第一支撑结构，位于第一振膜的远离衬底的一侧且连接于第一固定区域上；背极板，位于第一支撑结构的远离第一振膜的一侧；其中，在第一方向上，第一凸起结构的投影落入背极板的投影范围内；如此，提高器件的可靠性。

今年以来芯联集成新获得专利授权48个，较去年同期减少了12.73%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了9.64亿元，同比增10.93%。

通过天眼查大数据分析，芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了19家企业，参与招投标项目1700次；财产线索方面有商标信息16条，专利信息726条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可42个。

数据来源：天眼查APP

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