京仪装备获得发明专利授权：“用于半导体废气处理设备的反应腔和半导体废气处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示京仪装备（688652）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于半导体废气处理设备的反应腔和半导体废气处理设备”，专利申请号为CN202211143960.4，授权日为2025年8月29日。

专利摘要：本申请提供一种用于半导体废气处理设备的反应腔和半导体废气处理设备，反应腔包括：反应腔本体，呈圆筒状，半导体制程产生的废气生成于反应腔本体内；均水环，呈阵列状、沿反应腔本体的周向设置于反应腔本体的内壁顶部，均水环用于对进入反应腔本体的溢流水进行均水处理，使得溢流水均匀地覆盖反应腔本体的整个内壁；均水环的设置高度为：h≥h水＝Q进水量/s水冷壁底面积；其中，Q进水量为进水量，s水冷壁底面积为水冷壁的底面积，h水为水冷壁的高度。本申请的反应腔增高了冷却水壁的高度，并采用均水环进行梳齿，降低水壁表面的自由能，使溢流水进入反应腔的过程中更加均匀。这种设置状态可以降低溢流不均匀的随机性不利影响。

今年以来京仪装备新获得专利授权40个，较去年同期减少了6.98%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了7240.02万元，同比增61.93%。

通过天眼查大数据分析，北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目87次；财产线索方面有商标信息50条，专利信息479条，著作权信息54条；此外企业还拥有行政许可12个。

数据来源：天眼查APP

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