微导纳米获得实用新型专利授权：“一种气量补偿装置和气动系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种气量补偿装置和气动系统”，专利申请号为CN202422704681.1，授权日为2025年8月29日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体而言，涉及一种气量补偿装置和气动系统。气量补偿装置包括储气单元以及补气管路；储气单元与补气管路连通，补气管路与气源连通；储气单元配置有至少一个气体分配口，气体分配口用于与气动元器件连通。气量补偿装置能够提高到达气动元器件的气流的流量和压力的稳定性，并能够满足气动元器件对压缩气体的需求，从而提高气动元器件的响应稳定性和响应速度。

今年以来微导纳米新获得专利授权52个，较去年同期增加了48.57%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目47次；财产线索方面有商标信息114条，专利信息530条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可68个。

数据来源：天眼查APP

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