至纯科技获得发明专利授权：“一种晶圆侦测模组及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆侦测模组及方法”，专利申请号为CN202310099591.1，授权日为2025年8月26日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆侦测模组，包括：晶圆盒承载平台，设置有若干中间镂空的晶圆盒承载位，用于承载晶圆盒；晶圆侦测装置，包括：接收集成组件和光源集成组件，所述接收集成组件和光源集成组件分别位于晶圆盒承载平台底部、对应镂空位置的两侧；其中，所述接收集成组件整体升降移动和旋转摆动，以接收并转向传导光线，所述光源集成组件整体升降移动和旋转摆动，以集成所述接收集成组件传导的光线，并通过所述镂空位置对晶圆盒内晶圆片进行光学扫描，本发明还提供了一种晶圆侦测方法。本发明提供的一种晶圆侦测模组及方法可对晶圆盒与晶圆片三维位置或动作是否偏移、晶圆片是否发生破损进行侦测。

今年以来至纯科技新获得专利授权25个，较去年同期增加了31.58%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.67亿元，同比增19.17%。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息104条，专利信息314条，著作权信息28条；此外企业还拥有行政许可44个。

数据来源：天眼查APP

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