芯源微获得发明专利授权：“一种半导体工艺自密封开关门结构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种半导体工艺自密封开关门结构”，专利申请号为CN202211532545.8，授权日为2025年8月19日。

专利摘要：本发明属于半导体加工设备领域，具体地说是一种半导体工艺自密封开关门结构，包括固定内门框、活动外门框及内压板，活动外门框位于固定内门框的外侧、并在驱动件驱动下进行上下移动。本发明通过设有导向凸缘的固定内门框、设有倾斜槽的活动外门框及设有导向轴的内压板的配合设置，并在驱动件的驱动下，倾斜槽可压动对应的导向轴，使内压板沿倾斜面向内侧移动，并使内压板的后侧面从前侧盖住固定内门框开口，实现固定内门框开口处的自密封。本发明可有效实现固定内门框开口处的自密封，防止进行半导体加工工艺时有害化学液的气雾的溢出，保证了操作人员的安全，同时也保证了晶圆工艺制程的工艺的精准性。

今年以来芯源微新获得专利授权31个，较去年同期增加了29.17%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.97亿元，同比增49.93%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目321次；财产线索方面有商标信息45条，专利信息612条，著作权信息92条；此外企业还拥有行政许可63个。

数据来源：天眼查APP

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