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兴福电子获得发明专利授权:“一种单晶硅精抛液及制备方法”

来源:证券之星企业动态 2025-08-16 02:46:40
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示兴福电子(688545)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种单晶硅精抛液及制备方法”,专利申请号为CN202310743059.9,授权日为2025年8月15日。

专利摘要:本发明公开了一种单晶硅精抛液及制备方法,该硅片精抛液由咪唑改性的高纯硅溶胶、渗透剂和成膜剂、表面活性剂、pH调节剂和超纯水组成,各组分所占的质量百分比为:0.5%~20%的咪唑改性的高纯纳米硅溶胶、0.01~1%的螯合剂、0.01%~0.5%的渗透剂,0.001%~0.5%的成膜剂、0.01%~5%的pH调节剂、余量的超纯水。其中咪唑改性的高纯硅溶胶不仅能提高硅溶胶的分散性,而且能减弱硅溶胶与硅片之间的静电斥力,显著地提高硅片的抛光速率;在渗透剂和成膜剂的共同作用下,本发明的精抛液不仅抛光速率高达550 nm/min,且抛光后硅片表面沾污颗粒极少,表面没有划痕和凹陷,表面状态良好。同时本发明精抛液的金属杂质离子控制在10 ppb以下,符合高端集成电路中单晶硅的精抛要求。

今年以来兴福电子新获得专利授权24个。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了7692.3万元,同比增35.52%。

通过天眼查大数据分析,湖北兴福电子材料股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目163次;财产线索方面有商标信息7条,专利信息397条,著作权信息6条;此外企业还拥有行政许可277个。

数据来源:天眼查APP

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