晶盛机电获得发明专利授权：“晶圆承载装置及外延设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆承载装置及外延设备”，专利申请号为CN202510749628.X，授权日为2025年8月15日。

专利摘要：本申请公开了一种晶圆承载装置及其外延设备，该晶圆承载装置包括基座、基盘和托盘，基盘形成有环形凹槽，环形凹槽与基盘的上表面连通，且环形凹槽与基盘的侧表面连通，托盘至少部分位于环形凹槽内并通过环形凹槽支撑，环形凹槽的槽底面与基盘的下表面沿晶圆承载装置上下方向的距离为预设距离，托盘至少部分向下延伸以形成有围绕部，围绕部的上端与环形凹槽的槽底面平齐，围绕部至少部分围绕基盘设置，围绕部沿晶圆承载装置上下方向的高度H1与预设距离D1的比值范围为0.25至0.5，该外延设备包括上述晶圆承载装置。通过上述设置，可以提高外延设备反应过程中晶圆温度的均匀性。

今年以来晶盛机电新获得专利授权83个，较去年同期减少了9.78%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了11.19亿元，同比减2.29%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了34家企业，参与招投标项目197次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1075条，著作权信息139条；此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源：天眼查APP

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