芯碁微装获得实用新型专利授权：“高效单机双面曝光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“高效单机双面曝光设备”，专利申请号为CN202422576617.X，授权日为2025年8月12日。

专利摘要：本实用新型公开了一种高效单机双面曝光设备，包括基座、曝光组件、基板载台和两个翻板组件。曝光组件设在基座的上方。基板载台设在基座和曝光组件之间，用于吸附待曝光件，基板载台沿基座的长度方向可移动。两个翻板组件均设在基板载台和曝光组件之间，每个翻板组件包括吸盘件和连接杆，吸盘件与连接杆转动连接，连接杆沿基座的宽度方向可移动。其中，两个翻板组件的两个吸盘件的转动方向相反。根据本实用新型的高效单机双面曝光设备，通过两个翻板组件的配合，实现了待曝光件的高效单机双面曝光，不需要额外的移栽机、翻板机等设备，有利于降低曝光设备的成本，同时减小了曝光的组线，提升曝光设备的产能，还减小了曝光设备的占地面积。

今年以来芯碁微装新获得专利授权25个，与去年同期持平。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了9769.71万元，同比增3.34%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目145次；财产线索方面有商标信息33条，专利信息370条，著作权信息53条；此外企业还拥有行政许可23个。

数据来源：天眼查APP

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