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中科飞测获得发明专利授权:“一种承载装置及承载系统、工作方法”

来源:证券之星企业动态 2025-08-05 02:47:26
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中科飞测(688361)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种承载装置及承载系统、工作方法”,专利申请号为CN202010773461.8,授权日为2025年8月5日。

专利摘要:本发明公开一种承载装置及承载系统、工作方法,该承载装置包括真空吸盘和多个支撑组件;所述真空吸盘包括相对的吸附面和背面,所述吸附面用于吸附待测对象的第一表面;所述支撑组件配置为沿垂直于所述吸附面的方向运动;所述多个支撑组件具有承托面,所述承托面用于支撑所述待测对象的边缘;在沿垂直于所述吸附面的方向上,所述吸附面距离所述真空吸盘的背面的距离小于所述承载面距离所述真空吸盘的背面的距离。应用本方案,能够在一个检测腔内完成对待测对象两个表面的检测,在不影响晶圆正面的完整性和清洁度的基础上,有效降低了检测成本。

今年以来中科飞测新获得专利授权48个,较去年同期减少了36%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了4.98亿元,同比增118.17%。

通过天眼查大数据分析,深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目263次;财产线索方面有商标信息332条,专利信息993条,著作权信息35条;此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源:天眼查APP

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