芯源微获得实用新型专利授权：“一种气体扩散室结构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种气体扩散室结构”，专利申请号为CN202422487048.1，授权日为2025年8月5日。

专利摘要：本实用新型属于半导体供气技术领域，具体地说是一种气体扩散室结构，包括扩散室主体及分层扩散板组件，分层扩散板组件包括下层固定板及上层调整板。通过调整上层调整板并改变上层调整板与下层固定板的相对位置，使上层调整板的各扩散口B完全挡住、部分挡住或完全让开下层固定板上对应的各扩散口A，进而实现气体通过腔体中气体从各扩散口B及扩散口A出去后在工艺腔体中形成指定的密度分布。本实用新型通过分层扩散板组件的设置，相对原有的单独一个的整体板状结构的扩散板，可以改变气体通过扩散口B及扩散口A流出时的通径大小，进而能够根据不同工况所需求的指定的密度分布进行调整。

今年以来芯源微新获得专利授权28个，较去年同期增加了21.74%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.97亿元，同比增49.93%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目321次；财产线索方面有商标信息45条，专利信息611条，著作权信息91条；此外企业还拥有行政许可63个。

数据来源：天眼查APP

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