芯动联科获得发明专利授权：“自对准多晶硅单晶硅混合MEMS垂直电极及其制造方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯动联科（688582）新获得一项发明专利授权，专利名为“自对准多晶硅单晶硅混合MEMS垂直电极及其制造方法”，专利申请号为CN202211688041.5，授权日为2025年8月1日。

专利摘要：本发明公开一种自对准多晶硅单晶硅混合MEMS垂直电极及其制造方法，通过在单晶硅圆片上刻蚀多个深槽、氧化单晶硅圆片、淀积多晶硅的方法，形成多晶硅单晶硅混合MEMS垂直电极，单晶硅晶格完美、物理特性好，可用于制造可动电极和功能结构；多晶硅固定在单晶硅固定柱上作为固定电极。单晶硅可动电极和多晶硅固定电极通过一次光刻/刻蚀的图形决定，实现自对准，电极间水平方向的电极间距由二氧化硅层的厚度决定，本发明的多晶硅单晶硅混合MEMS垂直电极具有尺寸精度高、加工重复性好、性能一致性好，加工工艺简单的优点，而且由于不需要用到价格较高的SOI圆片，也降低了成本。

今年以来芯动联科新获得专利授权6个，较去年同期增加了20%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了1.09亿元，同比增36.52%。

通过天眼查大数据分析，安徽芯动联科微系统股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目12次；财产线索方面有商标信息25条，专利信息74条；此外企业还拥有行政许可3个。

数据来源：天眼查APP

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