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微导纳米获得实用新型专利授权:“沉积设备”

来源:证券之星企业动态 2025-08-02 02:46:50
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示微导纳米(688147)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“沉积设备”,专利申请号为CN202422367729.4,授权日为2025年7月18日。

专利摘要:本申请公开了沉积设备。沉积设备包括设备主体、载片舟和红外加热器。设备主体具有工艺腔体。载片舟设置于工艺腔体内,载片舟具有用于容置基片的容置腔,载片舟将基片的至少一面遮掩。红外加热器与载片舟的其中一面相对且间隔设置,红外加热器与载片舟之间具有供工艺气体流过的工艺通道,红外加热器用于加热未被遮掩的基片侧面。通过上述方式,本申请能够实现对基片需要镀膜的侧面针对性加热。

今年以来微导纳米新获得专利授权48个,较去年同期增加了41.18%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.67亿元,同比增50.78%。

通过天眼查大数据分析,江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目47次;财产线索方面有商标信息114条,专利信息524条,著作权信息20条;此外企业还拥有行政许可68个。

数据来源:天眼查APP

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