东方日升获得实用新型专利授权：“一种干法蚀刻装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示东方日升（300118）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种干法蚀刻装置”，专利申请号为CN202421927564.5，授权日为2025年7月29日。

专利摘要：本实用新型属于太阳能电池技术领域，具体为一种干法蚀刻装置，包括反应腔室；反应腔室内设有硅片输送辊道；反应腔室上位于硅片输送辊道的上方设有蚀刻气体进口，位于硅片输送辊道的下方设有排气口；反应腔室内设有至少一个第一加热器，第一加热器将反应腔室内的温度加热到反应温度；反应腔室通过排气口与废气处理室连通。当硅片进入反应腔室内且温度达到反应温度后，与自蚀刻气体进口进入的蚀刻气体反应，反应完成后的气体自排气口排出至废气处理腔室，该装置可应用于Topcon技术的绕镀去除或Poly Finger技术的背面减薄，且整个去绕镀过程或Poly Finger背面减薄过程采用干法技术，方式简单，蚀刻速度快，降低运行成本。

今年以来东方日升新获得专利授权32个，较去年同期增加了39.13%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了5.12亿元，同比减24.22%。

通过天眼查大数据分析，东方日升新能源股份有限公司共对外投资了34家企业，参与招投标项目983次；财产线索方面有商标信息177条，专利信息358条，著作权信息17条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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