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盛美上海获得发明专利授权:“晶圆卡匣调整装置及晶圆浸泡装置”

来源:证券之星企业动态 2025-07-26 02:50:42
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示盛美上海(688082)新获得一项发明专利授权,专利名为“晶圆卡匣调整装置及晶圆浸泡装置”,专利申请号为CN202510526003.7,授权日为2025年7月25日。

专利摘要:本申请提供一种晶圆卡匣调整装置及晶圆浸泡装置,其中,晶圆卡匣调整装置包括卡匣架、晶圆卡匣和翻转机构。卡匣架上设置有硬限位件,晶圆卡匣与卡匣架通过第一枢轴枢接,用于保持晶圆。翻转机构与晶圆卡匣连接,用于驱动晶圆卡匣绕第一枢轴转动。其中,在晶圆卡匣朝水平状态转动的过程中,在晶圆卡匣抵靠硬限位件时,晶圆卡匣处于水平状态。本申请能够防止晶圆卡匣转动过度,保证晶圆卡匣的水平度,确保取放晶圆时的准确性,避免晶圆卡匣水平度偏差导致的结构干涉,显著降低晶圆破碎风险。

今年以来盛美上海新获得专利授权14个,较去年同期增加了250%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了7.29亿元,同比增18.47%。

通过天眼查大数据分析,盛美半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了17家企业,参与招投标项目168次;财产线索方面有商标信息34条,专利信息583条;此外企业还拥有行政许可30个。

数据来源:天眼查APP

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