芯源微获得发明专利授权：“涂胶显影设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“涂胶显影设备”，专利申请号为CN201910944293.1，授权日为2025年7月25日。

专利摘要：本发明提供了一种涂胶显影设备包括片盒模块、第一工艺模块、第二工艺模块和接口模块，第一工艺模块和第二工艺模块的一端与片盒模块连接，第一工艺模块和第二工艺模块的另一端与接口模块连接，第一工艺模块和第二工艺模块可以相互独立工作，节约了维护时间，提高了生产效率，第一工艺模块和第二工艺模块之间设置有第一层间工艺机械手、层内工艺机械手组和第二层间工艺机械手，第一层间工艺机械手、第二层间工艺机械手和层内工艺机械手组内的机械手均具有两组朝向相反的末端执行器，每组末端执行器的数量为m，m为大于或等于2的自然数，能够实现多个晶圆的搬运，提高了生产效率。

今年以来芯源微新获得专利授权26个，较去年同期增加了13.04%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.97亿元，同比增49.93%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目318次；财产线索方面有商标信息45条，专利信息607条，著作权信息91条；此外企业还拥有行政许可63个。

数据来源：天眼查APP

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