永鼎股份获得发明专利授权：“一种晶圆刻蚀环境的超净控制方法及控制系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示永鼎股份（600105）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆刻蚀环境的超净控制方法及控制系统”，专利申请号为CN202411493360.X，授权日为2025年7月22日。

专利摘要：本发明提供了一种晶圆刻蚀环境的超净控制方法及控制系统，涉及半导体器件技术领域，包括：获取超净空间的层流分布，构建层流分布图，并拟合流线轨迹；获取晶圆刻蚀的工艺空间分布，进行坐标映射，建立晶圆刻蚀工艺与层流分布的映射关系；读取晶圆刻蚀的工艺排污要求、气流控制参数，进行流线拟合，确定匹配流线数据；确定气流偏差值，进行气流控制参数解析，获得调整控制参数，用以对气流控制参数进行调整，以满足所述工艺排污要求的流线数据要求。本发明解决了现有技术的气流控制多为静态设置，无法根据实时的工艺需求和环境变化动态调整气流，并且无法满足不同区域对气流的个性化要求，使得气流控制的准确性较差的技术问题。

今年以来永鼎股份新获得专利授权20个，较去年同期减少了33.33%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.39亿元，同比减1.18%。

通过天眼查大数据分析，江苏永鼎股份有限公司共对外投资了35家企业，参与招投标项目265次；财产线索方面有商标信息1条，专利信息697条，著作权信息2条；此外企业还拥有行政许可92个。

数据来源：天眼查APP

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