中微公司获得实用新型专利授权：“一种半导体处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种半导体处理设备”，专利申请号为CN202421972974.1，授权日为2025年7月8日。

专利摘要：本实用新型公开一种半导体处理设备，包括：反应腔，其包括腔体和设置于所述腔体顶部的腔盖；所述反应腔的内部空间分为多个反应单元；基座，设置于每一所述反应单元内，用于承载基片；维护口，设置于所述腔体的侧壁上并贯穿所述腔体的侧壁的内表面和外表面；且通过所述维护口执行清洁所述反应单元及所述基座的动作；密封板，位于所述维护口的外侧，与所述腔体的侧壁固定连接，用于打开或关闭所述维护口。本实用新型能够在不开腔的情况下对反应腔的内部及其内部安装的部件进行清理，以提高反应腔的维护效率以及基片的工艺处理结果的均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权84个，较去年同期减少了1.18%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目66次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1522条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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