中微公司获得实用新型专利授权：“一种用于气相沉积设备的盖板组件和气相沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于气相沉积设备的盖板组件和气相沉积设备”，专利申请号为CN202422055845.2，授权日为2025年7月8日。

专利摘要：本实用新型提供了一种用于气相沉积设备的盖板组件，包括侧壁板、盖板和压紧组件。压紧组件包括固定块和活动块，固定块连接于侧壁板内壁；活动块设置于盖板的上表面且可相对固定块沿第一方向移动，使得第一接触面和第二接触面压紧以将盖板和侧壁板压紧或反向运动以松开，第一接触面的法向与第一方向之间的夹角为锐角。本实用新型的用于气相沉积设备的盖板组件和气相沉积设备，通过压紧组件将盖板和侧壁板之间压紧，在保证盖板和侧壁板之间可靠密封的前提下，盖板发生热应变时可沿水平方向膨胀或收缩，降低盖板因在受热情况下发生热应变下导致弯曲变形量，盖板通过水平方向形变释放热应力同时能够保证盖板和侧壁板之间的密封连接。

今年以来中微公司新获得专利授权84个，较去年同期减少了1.18%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目66次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1522条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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