芯联集成获得发明专利授权：“一种机械手及利用其改善槽式刻蚀均匀性的晶圆浸蚀方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种机械手及利用其改善槽式刻蚀均匀性的晶圆浸蚀方法”，专利申请号为CN202111445036.7，授权日为2025年7月15日。

专利摘要：本发明公开一种机械手及利用其改善槽式刻蚀均匀性的晶圆浸蚀方法，其中浸蚀方法，包括n次浸蚀工序，每次浸蚀工序包括如下步骤：步骤一、机械手将晶圆送入腐蚀液中：机械手夹持晶圆至腐蚀液槽体上方，一侧机械臂保持不动，另一侧机械臂向外旋转展开，晶圆沿着保持不动的机械臂下臂斜向下滚动，落入下方腐蚀液；步骤二、机械手将晶圆从槽体底部垂直夹起。利用该机械手使得晶圆浸蚀方法具有改善晶圆槽式金属刻蚀均匀性的特点。

今年以来芯联集成新获得专利授权35个，较去年同期减少了30%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了18.42亿元，同比增20.45%。

通过天眼查大数据分析，芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了19家企业，参与招投标项目1695次；财产线索方面有商标信息16条，专利信息702条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可40个。

数据来源：天眼查APP

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