中科飞测获得发明专利授权：“检测方法和检测系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“检测方法和检测系统”，专利申请号为CN202111163111.0，授权日为2025年7月15日。

专利摘要：一种检测方法和检测系统，所述检测方法在执行第一扫描检测时，根据所获取所述待测物表面的第一检测信息确定待测物表面所具有的第一目标缺陷的信息；在执行第二检测扫描时，根据所述第二探测光斑与所述第一目标缺陷之间的位置关系，控制第二探测光束以使照射到所述第一目标缺陷所在位置处的第二探测光斑的功率密度小于所述第二入射功率密度，以避免第二探测光斑照射在所述第一目标缺陷处导致第一目标缺陷的炸裂，从而可以避免晶圆的二次污染。

今年以来中科飞测新获得专利授权39个，较去年同期减少了47.3%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了4.98亿元，同比增118.17%。

通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目260次；财产线索方面有商标信息327条，专利信息965条，著作权信息35条；此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源：天眼查APP

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