盛美上海获得发明专利授权：“导静电基板保持装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示盛美上海（688082）新获得一项发明专利授权，专利名为“导静电基板保持装置”，专利申请号为CN201911085486.2，授权日为2025年7月11日。

专利摘要：本发明提供了一种导静电基板保持装置，包括：带动基板旋转的基板卡盘；带动基板卡盘旋转的中心转轴；包括第一导静电结构和第二导静电结构的导静电结构；通过轴承连接第二导静电结构的中空外壳，第二导静电结构电性连接轴承，轴承电性连接中空外壳；环绕第二导静电结构的密封壳体，其在中心转轴轴线方向上位于基板卡盘与轴承之间；密封壳体内壁设有第一环形密封齿，第二导静电结构外壁设有第二环形密封齿，其相互交错并隔离基板卡盘与轴承。本发明通过采用轴承作为旋转与非旋转部分过渡的导静电结构，使得旋转结构与导静电结构能够很好地兼容设置；交错设置的第一环形密封齿与第二环形密封齿还确保了轴承等部件中的润滑油不会污染作业中的晶圆。

今年以来盛美上海新获得专利授权11个，较去年同期增加了175%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.29亿元，同比增18.47%。

通过天眼查大数据分析，盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了17家企业，参与招投标项目167次；财产线索方面有商标信息34条，专利信息574条；此外企业还拥有行政许可30个。

数据来源：天眼查APP

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