盛美上海获得发明专利授权：“炉管设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示盛美上海（688082）新获得一项发明专利授权，专利名为“炉管设备”，专利申请号为CN202510312070.9，授权日为2025年7月11日。

专利摘要：本申请公开了一种炉管设备，涉及半导体制造设备领域，炉管设备，包括：工艺管，所述工艺管的内部用于形成工艺区；法兰件，设置于所述工艺管的下方，用于承载所述工艺管；晶舟，用于承载多个基片；密封盖，设置于所述晶舟和所述法兰件的下方，所述密封盖包括进气通道和吹扫部，所述进气通道具有进气端和出气端，所述进气端用于接收进气，所述出气端与所述吹扫部连通，所述吹扫部设置有多个气孔，所述多个气孔朝向所述工艺区设置，所述吹扫部靠近所述法兰件。通过气体的持续吹扫能够显著减少法兰件和密封盖表面的颗粒沉积，从而降低污染风险，优化工艺环境的洁净度，并能够降低法兰件和密封盖的清洁频率。

今年以来盛美上海新获得专利授权11个，较去年同期增加了175%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.29亿元，同比增18.47%。

通过天眼查大数据分析，盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了17家企业，参与招投标项目167次；财产线索方面有商标信息34条，专利信息574条；此外企业还拥有行政许可30个。

数据来源：天眼查APP

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