至纯科技获得实用新型专利授权：“一种清洗槽用晶圆承载装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种清洗槽用晶圆承载装置”，专利申请号为CN202421682699.X，授权日为2025年6月27日。

专利摘要：本实用新型提供一种清洗槽用晶圆承载装置，晶圆接触组件，分别与第一纵向支撑板的下端和第二纵向支撑板的下端可拆卸连接，用于承载晶圆置于清洗设备的清洗槽内；晶圆接触组件包括第一V型齿条、第二V型齿条、第一Y型齿条和第二Y型齿条，第一Y型齿条和第二Y型齿条均设置在第一V型齿条和第二V型齿条之间；晶圆的边缘接触第一V型齿条的齿槽和第二V型齿条的齿槽时，晶圆的边缘悬空在第一Y型齿条的齿槽和第二Y型齿条的齿槽内。减少晶圆与接触器的接触点，提升对晶圆的清洗效果，减少晶圆和沟槽的摩擦，避免晶圆被不必要的划伤。此外，Y型的齿条设计对晶圆具有放倒效果。

今年以来至纯科技新获得专利授权22个，较去年同期增加了37.5%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.67亿元，同比增19.17%。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息102条，专利信息313条，著作权信息27条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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