中微公司获得发明专利授权：“下电极组件及等离子体处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“下电极组件及等离子体处理设备”，专利申请号为CN202411660380.1，授权日为2025年7月8日。

专利摘要：本发明提供一种下电极组件及等离子体处理设备。所述下电极组件用于等离子体工艺处理，包括：静电吸盘，其上表面用于承载基片；位于静电吸盘中的第一电极，其与一脉冲式直流偏压源电连接；位于静电吸盘中的第二电极，其通过一隔离电路与一直流电压源电连接，所述第二电极位于所述第一电极的上方；所述隔离电路包含一二极管，所述二极管的负极与所述直流电压源的负极电连接、正极与所述第二电极电连接。本发明通过消除脉冲式直流偏压源对箝位电压的影响，解决在工艺过程中基片箝位电压的失稳问题。

今年以来中微公司新获得专利授权84个，较去年同期减少了1.18%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了28家企业，参与招投标项目66次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1505条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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