捷佳伟创获得发明专利授权：“硅片的工艺腔体、硅片加工设备和硅片加工方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示捷佳伟创（300724）新获得一项发明专利授权，专利名为“硅片的工艺腔体、硅片加工设备和硅片加工方法”，专利申请号为CN202010470568.5，授权日为2025年7月8日。

专利摘要：本发明提出了一种硅片的工艺腔体、硅片加工设备和硅片加工方法，其中，工艺腔体包括：壳体，内有腔室；真空门阀，载板，通过真空门阀进出腔室，载板用于承载硅片；传输组件，用于传输载板；在载板进出方向上，腔室的两侧，分别设有多个顶升装置。通过本发明的技术方案，将顶升装置设置在腔室的两侧，并设置了的传输组件，便于载板在工艺腔体内往复传输，减少了载板的传输时长和周转时长，有利于缩短非工艺时间，还减少了载板和大气的接触，提升了载板温度的稳定性和载板的洁净度，有利于提升生产效率和产品质量。

今年以来捷佳伟创新获得专利授权56个，较去年同期增加了60%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了6.49亿元，同比增38.94%。

通过天眼查大数据分析，深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目86次；财产线索方面有商标信息16条，专利信息494条，著作权信息79条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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