中微公司获得实用新型专利授权：“一种进气组件及薄膜沉积装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种进气组件及薄膜沉积装置”，专利申请号为CN202422148720.4，授权日为2025年7月8日。

专利摘要：本实用新型提供了一种进气组件及薄膜沉积装置，所述进气组件包括：上盖板，其中心设置有第一进气通道；至少四个第二进气通道，其环绕所述第一进气通道设置在所述上盖板的每个角落；气体喷淋板，其设置在所述上盖板的下方，所述气体喷淋板和上盖板之间形成匀气腔；每个所述第一进气通道和第二进气通道的进气端均设有一RPS反应器；每个所述RPS反应器的进气口与工艺气体源和清洁气体源连接，所述RPS反应器的出气口与对应的第一进气通道或第二进气通道连通；所述工艺气体或清洁气体经过RPS反应器的进气口和出气口传输至反应腔内。本实用新型提升了工艺气体和清洁气体的分布均匀性，进而提高了基片成膜厚度的均匀性和清洁效率。

今年以来中微公司新获得专利授权83个，较去年同期增加了5.06%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了28家企业，参与招投标项目66次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1505条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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