中微公司获得发明专利授权：“约束环、等离子处理装置及其排气控制方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“约束环、等离子处理装置及其排气控制方法”，专利申请号为CN202110697097.6，授权日为2025年7月8日。

专利摘要：一种约束环、等离子处理装置及其排气控制方法，约束环环绕设置于等离子处理装置的反应腔内的基座外围与反应腔的侧壁之间，约束环包含形成一环形结构的至少一个环状组件，环状组件包含具有多个气体通道的主体部分，以及用于调节气体通道高度的高度调节装置。驱动环状组件中的高度调节装置运动，调节环状组件中的气体通道的高度，从而调节反应腔内气体流量分布。本发明通过多区域统一或分别调节约束环中气体通道的高度，从而调节并均衡反应腔内的气体流量分布，操作性强，适应性高。本发明可以在进气流量不变的情况下，降低反应腔内的气压，有利于反应腔内气体交换及反应副产物的抽出，减少反应副产物在晶圆上的沉积，从而提高刻蚀性能。

今年以来中微公司新获得专利授权83个，较去年同期增加了5.06%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了28家企业，参与招投标项目66次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1505条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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