中微公司获得发明专利授权：“一种加热器组件及气相沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种加热器组件及气相沉积设备”，专利申请号为CN202111615369.X，授权日为2025年7月8日。

专利摘要：本发明公开了一种加热器组件及气相沉积设备，所述加热器组件，用于在气相沉积设备中加热晶圆托盘，包括：加热部件，其内部有电流流通时可以对晶圆托盘进行加热；加热部件包括若干个加热弧段；若干个支撑组件，每一支撑组件包括至少一个支撑杆，用于支撑相邻的加热弧段；柔性部件，与支撑杆远离加热弧段的一端连接，用于控制加热弧段的位移及变形方向；导通部件，与相邻的加热弧段和/或与支撑杆电连接，用于使电流在相邻的加热弧段之间流通。本发明可以使电流沿导通部件在相邻的加热弧段之间流通，使流经柔性部件的电流较小甚至没有，从而有效降低柔性部件的温度，减小其热蠕变，从而减小加热弧段的变形和位移。

今年以来中微公司新获得专利授权83个，较去年同期增加了5.06%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了28家企业，参与招投标项目66次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1505条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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